Просмотр коллекции по группе - По автору Петраков, Юрий Вячеславович
Отображение результатов 1 до 1 из 1
| Дата публикации | Название | Авторы |
|---|---|---|
| 2017 | Осаждение диэлектрических плёнок Si3N4 с помощью плазмы магнетронного разряда | Петраков, Юрий Вячеславович |