Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/13417Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Каплин, Анатолий Александрович | ru |
| dc.contributor.author | Покровская, А. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Стромберг, Армин Генрихович | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-03-03T12:50:45Z | - |
| dc.date.available | 2016-03-03T12:50:45Z | - |
| dc.date.issued | 1976 | - |
| dc.identifier.citation | Каплин А. А. Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН / А. А. Каплин, А. Н. Покровская, А. Г. Стромберг // Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]. — 1976. — Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология. — [С. 109-112]. | ru |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/13417 | - |
| dc.description.abstract | Разработана методика анализа тонких пленок SiO2 плавиковой кислоты и воды, используемых в технологии производства интегральных схем на содержание 10-7 10-9% примесей Zn, Cd, Pb, In, Sn, Cu, Bi. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
| dc.relation.ispartof | Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]. 1976. Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.source | Известия Томского политехнического института | ru |
| dc.title | Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН | ru |
| dc.type | Article | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.description.firstpage | 109 | - |
| local.description.lastpage | 112 | - |
| local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/1976/v275/33_full.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\258546 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\19797 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\11188 | - |
| local.localtype | Статья | ru |
| local.volume | 275 | - |
| Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-1976-v275-33_bw.pdf | Black-and-white version of the preview | 205,95 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
| bulletin_tpu-1976-v275-33_full.pdf | Color version | 7,17 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.