Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14740
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorNesterenko, Tamara Georgievnaru
dc.contributor.authorVtorushin, S. E.ru
dc.contributor.authorБарбин, Евгений Сергеевичru
dc.contributor.authorKoleda, Aleksey Nikolaevichru
dc.date.accessioned2016-03-16T09:26:31Z-
dc.date.available2016-03-16T09:26:31Z-
dc.date.issued2015-
dc.identifier.citationEffect of the anisotropy of monocrystalline silicon mechanical properties on the dynamic characteristics of a micromechanical gyroscope / T. G. Nesterenko [et al.] // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. — 2015. — Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials : International Scientific Conference, 3-8 November 2014, Tomsk, Russia : [proceedings]. — [012096, 8 p.].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/14740-
dc.description.abstractThe aim of the research was to determine the effect of temperature on mechanical properties of a micromechanical gyroscope with the sensing element mounted on a silicon wafer, with the crystallographic orientation of (100) (110) (111). The research is of current relevancy since the metrological characteristics that depend on the eigenfrequencies over the full temperature range are to be controlled. The temperature-modal analysis of the micromechanical gyroscope model was performed with ANSYS program. The temperature dependence for eigenfrequencies was obtained. The dependence of the scale factor on temperature for the most temperature-independent variant of sensor positioning on the wafer was determined. The developed mathematical model was used to find the forms of the output oscillations of the gyroscope.ru
dc.language.isoenen
dc.publisherIOP Publishingru
dc.relation.ispartofIOP Conference Series: Materials Science and Engineering. Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials. — United Kingdom, 2015.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectанизотропияru
dc.subjectмонокристаллический кремнийru
dc.subjectдинамические характеристикиru
dc.subjectгироскопыru
dc.titleEffect of the anisotropy of monocrystalline silicon mechanical properties on the dynamic characteristics of a micromechanical gyroscoperu
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт неразрушающего контроля (ИНК)::Кафедра точного приборостроения (ТПС)ru
local.description.firstpage120968-
local.filepathhttp://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/81/1/012096-
local.identifier.bibrecRU\TPU\network\8015-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\18717-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\30970-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\29889-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\33286-
local.localtypeДокладru
local.volume81-
local.conference.nameRadiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials-
local.conference.date2014-
dc.identifier.doi10.1088/1757-899X/81/1/012096-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
012096.pdf864,97 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.