Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorРябчиков, Александр Ильичru
dc.contributor.authorСтепанов, Игорь Борисовичru
dc.contributor.authorСивин, Денис Олеговичru
dc.contributor.authorДодорин, Константин Юрьевичru
dc.contributor.authorШулепов, Иван Анисимовичru
dc.date.accessioned2016-03-17T11:28:43Z-
dc.date.available2016-03-17T11:28:43Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationФормирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения / А. И. Рябчиков [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2011. — № 1 (1). — [С. 72-76].ru
dc.identifier.issn2226-0064-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894-
dc.description.abstractПредставлены закономерности формирования плазмы азота, аргона в полом катоде с объемом до 0,2…0,5 м3 с помощью короткоимпульсного 1…10 мкс высокочастотного 105 Гц напряжения до 3 кВ. Установлено, что, несмотря на импульсный характер напряжения, газовый разряд стабильно горит при давлении 0,1 Па и выше, величина тока разряда и концентрация плазмы возрастают при увеличении длительности импульса напряжения, амплитуды напряжения, общий ток разряда достигает 10 А, обеспечивая плотность ионного тока насыщения на изделия, помещенные в плазму до 0,5 мА/см2. Показана возможность осаждения сверхтвердого (45…50 ГПа) покрытия на основе нитрида титана внутри полого катода.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofВестник науки Сибири. 2011. № 1 (1)ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.sourceВестник науки Сибириru
dc.subjectфизикаru
dc.subjectгазоразрядная плазмаru
dc.subjectтлеющие разрядыru
dc.subjectформированиеru
dc.subjectполые катодыru
dc.subjectвысокочастотные напряженияru
dc.subjectимпульсные напряженияru
dc.subjectиспользованиеru
dc.titleФормирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряженияru
dc.typeArticleen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage72-
local.description.lastpage76-
local.filepathhttp://sjs.tpu.ru/journal/article/viewPDFInterstitial/149/94-
local.identifier.bibrecRU\TPU\prd\144143-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\22006-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\26466-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\26465-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\29639-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\28219-
local.issue1-
local.localtypeСтатьяru
Appears in Collections:Векторы благополучия: экономика и социум

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
94.pdf591,25 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.