Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14927
Название: Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур
Авторы: Воротилов, Константин Анатольевич
Лучников, Петр Александрович
Подгорный, Юрий Владимирович
Серегин, Дмитрий Сергеевич
Ключевые слова: МДП-структуры; тонкие пленки; диэлектрическая проницаемость; изолирующие пленки; термические оксиды; краевой эффект; омический контакт
Дата публикации: 2011
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур / К. А. Воротилов [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2011. — № 1 (1). — [С. 220-228].
Аннотация: Представлена методика точных измерений диэлектрической проницаемости ? изолирующих пленок нанометровых толщин в МДП-структурах на основе нелинейной аппроксимации экспериментальных зависимостей эквивалентной емкости МДП-структуры от частоты. В диапазоне частот четырехэлементная модель хорошо отражает комплексный импеданс МДП-структуры в аккумуляции. Учитывается влияние краевой емкости. Метрологические характеристики методики подтверждены результатами измерения ? пленки термического оксида кремния толщиной ~80 нм на кремнии. Получено значение диэлектрической проницаемости 3,825 с погрешностью 1,2 % при случайной составляющей 0,13 %.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14927
ISSN: 2226-0064
Располагается в коллекциях:Вестник науки Сибири

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
78.pdf759,33 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.