1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Периодические и продолжающиеся издания
  4. Векторы благополучия: экономика и социум
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16069
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorКлименов, Василий Александровичru
dc.contributor.authorМамонтов, Аркадий Павловичru
dc.date.accessioned2016-03-24T04:02:04Z-
dc.date.available2016-03-24T04:02:04Z-
dc.date.issued2012-
dc.identifier.citationКлименов В. А. Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия / В. А. Клименов, А. П. Мамонтов // Вестник науки Сибири. — 2012. — № 3 (4). — [С. 125-129].ru
dc.identifier.issn2226-0064-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/16069-
dc.description.abstractИсследовано влияние характеристического рентгеновского излучения на полуизолирующий арсенид галлия, применяемый в качестве подложек при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем с помощью ионной имплантации и эпитаксии. Установлено, что изменение сопротивления при облучении позволяет получать информацию об однородности и термической стабильности пластин полуизолирующего арсенида галлия. Обсуждаются физические процессы, происходящие при облучении полуизолирующего арсенида галлия.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofВестник науки Сибири. 2012. № 3 (4)ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.sourceВестник науки Сибириru
dc.subjectнеразрушающий контрольru
dc.subjectрадиационный контрольru
dc.subjectарсенид галлияru
dc.subjectрентгеновское излучениеru
dc.subjectподложкиru
dc.subjectионная имплантацияru
dc.subjectполупроводникиru
dc.subjectэпитаксияru
dc.subjectсопротивлениеru
dc.subjectстабильностьru
dc.titleРадиационный контроль полуизолирующего арсенида галлияru
dc.typeArticleen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage125-
local.description.lastpage129-
local.filepathhttp://sjs.tpu.ru/journal/article/viewPDFInterstitial/366/326-
local.identifier.bibrecRU\TPU\prd\147591-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\27985-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\21984-
local.issue3-
local.localtypeСтатьяru
Располагается в коллекциях:Векторы благополучия: экономика и социум

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
326.pdf163,78 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.