Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19147Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | Чернявский, Александр Викторович | ru |
| dc.contributor.author | Перминов, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Чернявский, Александр Викторович | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-04-08T11:17:50Z | - |
| dc.date.available | 2016-04-08T11:17:50Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.citation | Перминов А. А. Распределение примесных ионов в поверхностных слоях диэлектриков, модифицированных ионными пучками / А. А. Перминов, А. В. Чернявский ; науч. рук. А. В. Чернявский // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 206-208]. | ru |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19147 | - |
| dc.description.abstract | The results of studies of impurity ions distribution in surface layers of dielectric modified by ion beams are presented. Depth profiles were measured by secondary ion mass spectrometry method. Computer simulations of the expected ion depth profile were carried out using the TRIM program. The alumina ceramic implanted with Ti ions at energy 50 keV and zirconium ceramic implanted with Al ions at energy 78 keV were investigated in our work. | ru |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.relation.ispartof | Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. — Томск, 2015. | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.subject | примесные ионы | ru |
| dc.subject | поверхностные слои | ru |
| dc.subject | диэлектрики | ru |
| dc.subject | ионные пучки | ru |
| dc.title | Распределение примесных ионов в поверхностных слоях диэлектриков, модифицированных ионными пучками | ru |
| dc.type | Conference Paper | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт неразрушающего контроля (ИНК)::Проблемная научно-исследовательская лаборатория электроники, диэлектриков и полупроводников (ПНИЛ ЭДиП) | ru |
| local.description.firstpage | 206 | - |
| local.description.lastpage | 208 | - |
| local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/058.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\11091 | - |
| local.identifier.colkey | RU\TPU\col\19033 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\26556 | - |
| local.localtype | Доклад | ru |
| local.conference.name | Перспективы развития фундаментальных наук | - |
| local.conference.date | 2015 | - |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C21-058.pdf | 572,98 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.