1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19391
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorАн, Владимир Вилорьевичru
dc.contributor.authorАжгихин, М. И.ru
dc.contributor.authorШульте, Й.ru
dc.contributor.authorЭллмер, К.ru
dc.date.accessioned2016-04-11T17:12:48Z-
dc.date.available2016-04-11T17:12:48Z-
dc.date.issued2015-
dc.identifier.citationАжгихин М. И. Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы / М. И. Ажгихин, Й. Шульте, К. Эллмер ; науч. рук. В. В. Ан // Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых : сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 159-163].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/19391-
dc.language.isoruen
dc.relation.ispartofРесурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых : сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г. — Томск, 2015.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectструктурыru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectоксид медиru
dc.subjectнитрид медиru
dc.subjectмагнетронные напыленияru
dc.subjectсолнечные элементыru
dc.titleИсследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферыru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт физики высоких технологий (ИФВТ)::Лаборатория № 12ru
local.description.firstpage159-
local.description.lastpage163-
local.filepathhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C08/047.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\10431-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\19054-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameРесурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых-
local.conference.date2015-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2015-C08-047.pdf358,35 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.