Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20524
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Панин, Алексей Викторович | ru |
dc.contributor.author | Хайруллин, Рустам Равильевич | ru |
dc.contributor.author | Доровских, С. И. | ru |
dc.date.accessioned | 2016-04-13T07:02:56Z | - |
dc.date.available | 2016-04-13T07:02:56Z | - |
dc.date.issued | 2014 | - |
dc.identifier.citation | Хайруллин Р. Р. Температурные условия CVD-осаждения как определяющий фактор в формировании плёнок кобальта с заданными эксплуатационными характеристиками / Р. Р. Хайруллин, С. И. Доровских ; науч. рук. А. В. Панин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 244-246]. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20524 | - |
dc.description.abstract | Co films were deposited on Si(100) substrates by chemical vapor deposition (CVD). Co(N'acN'ac)2 was used as a precursor. The sizes of coherent scattering region (CSR) and phase composition of studied Co films were determined by the X-ray diffraction (XRD) analysis. The chemical composition was identified by the Energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX). As a result of this work the effect of substrate temperature on the texture, sizes of CSR, phase and chemical composition of Co films was revealed. It was found that Co films consist of alpha-Co and beta-Co crystals. Varying the substrate temperature allows to change widely the texture, sizes of CSR and chemical composition of Co films. The cobalt content and the texture degree of Co films are characterized by extreme substrate temperature dependence with a maximum at 320-330 °С. The size of CSR is weakly depends on the substrate temperature in the range of 300-330 °С but it starts to decrease at temperatures over 330 °С. | ru |
dc.language.iso | ru | en |
dc.relation.ispartof | Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск, 2014. | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.subject | температурные условия | ru |
dc.subject | CVD-осаждение | ru |
dc.subject | пленки | ru |
dc.subject | кобальт | ru |
dc.subject | эксплуатационные характеристики | ru |
dc.title | Температурные условия CVD-осаждения как определяющий фактор в формировании плёнок кобальта с заданными эксплуатационными характеристиками | ru |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра общей физики (ОФ) | ru |
local.description.firstpage | 244 | - |
local.description.lastpage | 246 | - |
local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/077.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\4254 | - |
local.identifier.colkey | RU\TPU\col\18734 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\32861 | - |
local.localtype | Доклад | ru |
local.conference.name | Перспективы развития фундаментальных наук | - |
local.conference.date | 2014 | - |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2014-C21-077.pdf | 156,74 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.