Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана

Сунь Чжилэй; Конищев, Максим Евгеньевич; Пустовалова, Алла Александровна

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20530

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.advisor	Пичугин, Владимир Федорович	ru
dc.contributor.author	Сунь Чжилэй	ru
dc.contributor.author	Конищев, Максим Евгеньевич	ru
dc.contributor.author	Пустовалова, Алла Александровна	ru
dc.date.accessioned	2016-04-13T07:02:58Z	-
dc.date.available	2016-04-13T07:02:58Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Сунь Чжилэй. Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана / Сунь Чжилэй, М. Е. Конищев, А. А. Пустовалова ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 262-264].	ru
dc.identifier.uri	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20530	-
dc.description.abstract	This paper presents the study of the spectral composition of the plasma reactive magnetron discharge and the effect of the concentration of the working gas on the sputtering process. Control of the thin film synthesis was carried out using plasma emission spectrometer AvaSpec 3648. Line identification of optical spectra was realized using NIST database.	ru
dc.language.iso	ru	en
dc.relation.ispartof	Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск, 2014.	ru
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	en
dc.subject	парциальное давление	ru
dc.subject	спектральный состав	ru
dc.subject	распыление	ru
dc.subject	магнетронный разряд	ru
dc.subject	плазма	ru
dc.subject	мишени	ru
dc.subject	титан	ru
dc.title	Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана	ru
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferencePaper	en
dcterms.audience	Researches	en
local.department	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)	ru
local.description.firstpage	262	-
local.description.lastpage	264	-
local.filepath	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/083.pdf	-
local.identifier.bibrec	RU\TPU\conf\4269	-
local.identifier.colkey	RU\TPU\col\18726	-
local.identifier.perskey	RU\TPU\pers\27837	-
local.identifier.perskey	RU\TPU\pers\31045	-
local.localtype	Доклад	ru
local.conference.name	Перспективы развития фундаментальных наук	-
local.conference.date	2014	-
Располагается в коллекциях:	Материалы конференций

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
conference_tpu-2014-C21-083.pdf		140,86 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика Google Scholar

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.