Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25875
Название: Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС
Другие названия: Dependence of titanium oxide deposition modes and parameters of magnetron system power supply
Авторы: Андреева, М. А.
Юрьев, Юрий Николаевич
Научный руководитель: Юрьев, Юрий Николаевич
Ключевые слова: оксид титана; источники питания; магнетронное распыление; магнетронные разряды
Дата публикации: 2016
Издатель: Изд-во ТПУ
Библиографическое описание: Андреева М. А. Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС / М. А. Андреева, Ю. Н. Юрьев ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — Т. 1 : Физика. — [С. 43-45].
Аннотация: The article gives a look on researches of various parameters influence (power sources, oxygen flow,the pressure in the chamber and so on) on the magnetron sputtering system work using the method of titanium sputtering in the atmosphere of oxygen. The use of different power sources influences on the deposition rate and film properties.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25875
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C21_V1_p43-45.pdf515,38 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.