Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25875Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | Юрьев, Юрий Николаевич | ru |
| dc.contributor.author | Андреева, М. А. | ru |
| dc.contributor.author | Юрьев, Юрий Николаевич | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-06-22T16:29:55Z | - |
| dc.date.available | 2016-06-22T16:29:55Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Андреева М. А. Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС / М. А. Андреева, Ю. Н. Юрьев ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — Т. 1 : Физика. — [С. 43-45]. | ru |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25875 | - |
| dc.description.abstract | The article gives a look on researches of various parameters influence (power sources, oxygen flow,the pressure in the chamber and so on) on the magnetron sputtering system work using the method of titanium sputtering in the atmosphere of oxygen. The use of different power sources influences on the deposition rate and film properties. | en |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Изд-во ТПУ | ru |
| dc.relation.ispartof | Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. . Т. 1 : Физика. — Томск, 2016. | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.subject | оксид титана | ru |
| dc.subject | источники питания | ru |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru |
| dc.subject | магнетронные разряды | ru |
| dc.title | Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС | ru |
| dc.title.alternative | Dependence of titanium oxide deposition modes and parameters of magnetron system power supply | en |
| dc.type | Conference Paper | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) | ru |
| local.description.firstpage | 43 | - |
| local.description.lastpage | 45 | - |
| local.filepath | conference_tpu-2016-C21_V1_p43-45.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\16377 | - |
| local.identifier.colkey | RU\TPU\col\21255 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\30543 | - |
| local.localtype | Доклад | ru |
| local.volume | 1 | - |
| local.conference.name | Перспективы развития фундаментальных наук | - |
| local.conference.date | 2016 | - |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2016-C21_V1_p43-45.pdf | 515,38 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.