Технология керамических мишеней для напыления прозрачных электропроводных покрытий

Abstract

Эксплуатационные характеристики тонких проводящих керамических покрытий на сенсорные экраны современных электронных устройств существенно зависят от качества распыляемых мишеней. Стабильные характеристики устройств достигаются только при использовании керамики с низким значением остаточной пористости и равномерным её распределением по объёму мишени. Однако в качестве материала мишеней используют оксиды индия –олова (ITO), консолидация которых до требуемых характеристик традиционными методами затруднительна. В работе используются рациональные методы прессования порошков ITO в оптимальных режимах для достижения максимальных характеристик керамических мишеней.

The performance of the thin conductive ceramic coatings on the touch screens of modern electronic devices depend strongly on the quality of sputtering targets. Stable characteristics of the devices can only be achieved by using ceramics with a low residual porosity and its uniform distribution in the target volume. However, as the target material is indium tin oxide (ITO), which is to consolidate the required characteristics is difficult to obtain by conventional methods. We use rational methods of compression ITO powders in optimal conditions to achieve a hight quality of ceramic targets.