Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30378
Название: Формирование алмазоподобных кремний-углеродных покрытий
Авторы: Максимов, Кирилл Алексеевич
Научный руководитель: ,
Ключевые слова: алмазоподообные углеродные; кремний; ПФМС; несамостоятельный дуговой разряд; тонкие пленки; diamond-like carbon; silicon; PFMS; dependent arc discharge; thin films
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Максимов К. А. Формирование алмазоподобных кремний-углеродных покрытий : дипломный проект / К. А. Максимов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. . . . — Томск, 2016.
Аннотация: Выпускная квалификационная работа 111 с., 23 рис., 29 табл., 39 источников, 1 прил. Ключевые слова: алмазоподообные углеродные, кремний, ПФМС, несамостоятельный дуговой разряд, твердость, тонкие пленки. Объектом исследования являются алмазоподобные кремний-углеродные покрытия, полученные из плазмы несамостоятельного дугового разряда с накаленным катодом. Цель работы – изучение процесса формирования алмазоподобных кремний-углеродных покрытий и исследование их свойств В процессе работы проводилась оптимизация процесса осаждения и экспериментальные исследования полученных пленок. В результате исследования были получены твердые покрытия с низкой степенью износа и низким коэффициентом трения. Область применения: повышение срока службы промышленных механизмов, медицинских инструментов и др.
Final qualifying work of 111 p., 23 Fig., 29 tables, 39 source, 1 app. Keywords: diamond-like carbon, silicon, PFMS, dependent arc discharge, hardness, thin films. The object of the study is silicon-doped diamond-like carbon films prepared from the plasma of the dependent arc discharge with hot cathode. The work objective was the optimization of the process of deposition of silicon-doped diamond-like carbon films, synthesis of coatings and their research. In the process of the work it was carried out, that the optimization of the deposition process and experimental investigations of the received films. The study was received the solid films with a high wear resistance and a low friction coefficient. Scope: improving the lifetime of industrial machinery, medical tools, and other.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30378
Располагается в коллекциях:ВКР

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
TPU214348.pdf1,61 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.