Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30385
Название: Исследование баланса энергии и тепловых процессов в подложке при работе магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Авторы: Садыкова, Инкар -
Научный руководитель: Блейхер, Галина Алексеевна
Ключевые слова: магнетронные распылительные системы; жидкофазная мишень; испарение; распыление; осаждение; magnetron sputtering system; liquid phase target; evaporation; sputtering; coating
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Садыкова И. -. Исследование баланса энергии и тепловых процессов в подложке при работе магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью : дипломный проект / И. -. Садыкова ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. Г. А. Блейхер. — Томск, 2016.
Аннотация: Выпускная квалификационная работа 150 страниц, 10 рисунка, 40 таблиц, 37 источника, 2 приложения, 18 графического материала, 48 формул. Ключевые слова: магнетронные распылительные системы, жидкофазная мишень, испарение, распыление, осаждение, покрытие. Объектами исследования являются тепловые процессы на подложке при осаждении покрытий с использованием магнетронных распылительных систем с испарением мишеней.
Graduation thesis 150 pages, 10 figure, 40 tables, 37 source, 2 apps, 18 graphic material, 48 formulas. Key words: magnetron sputtering system, liquid phase target, evaporation, sputtering, deposition, coating. The objects of study are thermal processes on the substrate during the deposition of coatings using magnetron sputtering systems evaporation targets.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30385
Располагается в коллекциях:ВКР

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
TPU212118.pdf1,92 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.