Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30385
Title: Исследование баланса энергии и тепловых процессов в подложке при работе магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Authors: Садыкова, Инкар -
metadata.dc.contributor.advisor: Блейхер, Галина Алексеевна
Keywords: магнетронные распылительные системы; жидкофазная мишень; испарение; распыление; осаждение; magnetron sputtering system; liquid phase target; evaporation; sputtering; coating
Issue Date: 2016
Citation: Садыкова И. -. Исследование баланса энергии и тепловых процессов в подложке при работе магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью : дипломный проект / И. -. Садыкова ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. Г. А. Блейхер. — Томск, 2016.
Abstract: Выпускная квалификационная работа 150 страниц, 10 рисунка, 40 таблиц, 37 источника, 2 приложения, 18 графического материала, 48 формул. Ключевые слова: магнетронные распылительные системы, жидкофазная мишень, испарение, распыление, осаждение, покрытие. Объектами исследования являются тепловые процессы на подложке при осаждении покрытий с использованием магнетронных распылительных систем с испарением мишеней.
Graduation thesis 150 pages, 10 figure, 40 tables, 37 source, 2 apps, 18 graphic material, 48 formulas. Key words: magnetron sputtering system, liquid phase target, evaporation, sputtering, deposition, coating. The objects of study are thermal processes on the substrate during the deposition of coatings using magnetron sputtering systems evaporation targets.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30385
Appears in Collections:ВКР

Files in This Item:
File SizeFormat 
TPU212118.pdf1,92 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.