Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30458
Title: Исследование параметров плазмы магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Authors: Николаев, Михаил Вячеславович
metadata.dc.contributor.advisor: Юрьева, Алена Викторовна
Keywords: Осаждение; Магнетронное распыление; Параметры плазмы; Медные покрытия; Жидкофазная магнетронная распылительная система; Copper coatings; Magnetron sputtering system with liquid phase target; Plasma parameters; Deposition; Magnetron sputtering
Issue Date: 2016
Citation: Николаев М. В. Исследование параметров плазмы магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью : дипломный проект / М. В. Николаев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. А. В. Юрьева. — Томск, 2016.
Abstract: Выпускная квалификационная работа содержит 109 с., 40 рисунков, 21 таблицу, 25 источников, 1 приложение. Ключевые слова: жидкофазная МРС, магнетронная распылительная система, плазма, параметры, медные покрытия. Цель работы – оценить влияние режимов работы и конструкционных материалов МРС с жидкофазной мишенью на параметры плазмы и свойства получаемых покрытий. В процессе работы проводились экспериментальные исследования состава плазмы ЖМРС, изучение оптического спектра, эволюции электрических параметров во времени, скорости осаждения и структуры покрытий.
Final qualification work contains 109 pages, 40 figures, 21 tables, 25 sources, 1 application. Keywords: liquid-phase MSS, magnetron sputtering system, plasma, parameters, copper coatings. The work purpose – to estimate influence of operating modes and constructional materials MSS with a liquid-phase target on parameters of plasma and property of the received coatings. In the course of work pilot studies of composition of MSS plasma, studying of an optical spectrum, evolution of electric parameters in time, speeds of sedimentation and structure of coatings were conducted.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30458
Appears in Collections:ВКР

Files in This Item:
File SizeFormat 
TPU214329.pdf1,81 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.