Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/33861
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Parfenova, Elena Sergeevna | en |
dc.contributor.author | Knyazeva, Anna Georgievna | en |
dc.date.accessioned | 2016-11-24T10:06:45Z | - |
dc.date.available | 2016-11-24T10:06:45Z | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier.citation | Parfenova E. S. The influence of some model parameters on the impurity distribution implanted into substrate surface / E. S. Parfenova, A. G. Knyazeva // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. — 2016. — Vol. 124 : Mechanical Engineering, Automation and Control Systems (MEACS2015) : International Conference, 1–4 December 2015, Tomsk, Russia : [proceedings]. — [012085, 4 p.]. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/33861 | - |
dc.description.abstract | The model for description of the initial stage of ion implantation into the surface layer of the metal is presented. The interdependence of embedded impurity concentration and deformations arising from the impact of particles on the surface is investigated. The model takes into account the particle diffusion, the finite time of mass flux relaxation; the stress appearance due to a composition change of the surface layer and a mass transfer phenomenon under a stress gradient action. It is established that the interaction of mechanical waves and concentration leads to a distribution of concentration not corresponding to a pure diffusion process. The examples of coupled problems solution for different sets of model parameters are presented. | en |
dc.language.iso | en | en |
dc.publisher | IOP Publishing | ru |
dc.relation.ispartof | IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. Vol. 124 : Mechanical Engineering, Automation and Control Systems (MEACS2015). — Bristol, 2016. | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.subject | примеси | ru |
dc.subject | поверхности | ru |
dc.subject | подложки | ru |
dc.subject | ионная имплантация | ru |
dc.subject | металлы | ru |
dc.subject | тепловые потоки | ru |
dc.subject | массообмен | ru |
dc.subject | диффузия | ru |
dc.title | The influence of some model parameters on the impurity distribution implanted into substrate surface | en |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт физики высоких технологий (ИФВТ)::Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ) | ru |
local.description.firstpage | 12085 | - |
local.filepath | http://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/124/1/012085 | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\network\13713 | - |
local.identifier.colkey | RU\TPU\col\18687 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\34500 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\32712 | - |
local.localtype | Доклад | ru |
local.volume | 124 | - |
local.conference.name | Mechanical Engineering, Automation and Control Systems (MEACS2015) | - |
local.conference.date | 2015 | - |
dc.identifier.doi | 10.1088/1757-899X/124/1/012085 | - |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
dx.doi.org-10.1088-1757-899X-124-1-012085.pdf | 894,17 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.