Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35005
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Okhotnikov, Vitaly Vladimirovich | en |
dc.contributor.author | Linnik, Stepan Andreevich | en |
dc.contributor.author | Gaydaychuk, Alexander Valerievich | en |
dc.date.accessioned | 2016-12-08T17:17:47Z | - |
dc.date.available | 2016-12-08T17:17:47Z | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier.citation | Okhotnikov V. V. Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology / V. V. Okhotnikov, S. A. Linnik, A. V. Gaydaychuk // AIP Conference Proceedings. — 2016. — Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016) : XIII International Conference of Students and Young Scientists, 26–29 April 2016, Tomsk, Russia : [proceedings]. — [040007, 5 p.]. | en |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35005 | - |
dc.description.abstract | The effect of treatment by reactive ion etching in an argon atmosphere, and hydrogen plasma etching in a glow discharge plasma on the surface of the diamond films was investigated. Diamond films were deposited by the Chemical Vapor Deposition method on the hard alloy VK-8 substrates. The crystallites direction under the influence of argon ion beam processing was changed by 45 degrees from the original. The surface morphology becomes more developed (an average value of 20%) by etching in a glow discharge plasma in an atmosphere of hydrogen. Raman spectroscopy, Scanning Electron Microscope and Atomic Force Microscopy were used to determine the phase and microstructure composition of deposited films. | en |
dc.language.iso | en | en |
dc.publisher | AIP Publishing | ru |
dc.relation.ispartof | AIP Conference Proceedings. Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016). — New York, 2016. | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.subject | ионное травление | ru |
dc.subject | плазмохимическое травление | ru |
dc.subject | алмазные покрытия | ru |
dc.subject | поверхности | ru |
dc.subject | морфология | ru |
dc.subject | алмазные пленки | ru |
dc.subject | химическое осаждение | ru |
dc.subject | плазма | ru |
dc.subject | тлеющие разряды | ru |
dc.subject | сканирующая электронная микроскопия | ru |
dc.subject | атомно-силовая микроскопия | ru |
dc.subject | фазовый состав | ru |
dc.subject | микроструктуры | ru |
dc.title | Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology | en |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт физики высоких технологий (ИФВТ)::Лаборатория № 1 | ru |
local.description.firstpage | 40007 | - |
local.filepath | http://dx.doi.org/10.1063/1.4964566 | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\network\17388 | - |
local.identifier.colkey | RU\TPU\col\19035 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\36453 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\32877 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\32876 | - |
local.localtype | Доклад | ru |
local.volume | 17722016 | - |
local.conference.name | Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016) | - |
local.conference.date | 2016 | - |
dc.identifier.doi | 10.1063/1.4964566 | - |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
dx.doi.org-10.1063-1.4964566.pdf | 657,28 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.