Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35730
Название: Cellular automata modeling of microcrystalline structure formation
Авторы: Mikolaychuk, Mikhail
Knyazeva, Anna Georgievna
Ключевые слова: клеточные автоматы; микрокристаллические структуры; магнетронное распыление; покрытия; магнетронное напыление; плазма; химическая кинетика
Дата публикации: 2014
Издатель: AIP Publishing
Библиографическое описание: Mikolaychuk M. Cellular automata modeling of microcrystalline structure formation / M. Mikolaychuk, A. G. Knyazeva // AIP Conference Proceedings. — 2014. — Vol. 1623 : International Conference on Physical Mesomechanics of Multilevel Systems 2014, Tomsk, Russia, 3–5 September 2014 : [proceedings]. — [P. 419-422].
Аннотация: The paper discusses the problem of microcrystalline structure formation during magnetron sputtering. The authors suggest the model based on cellular automata approach combined with chemical kinetics considerations, briefly discuss a practical way for kinetic constants evaluation and derive their accurate values. The work numerically solves a particular problem of coating formation by magnetron sputter deposition in multicomponent chemically active plasma.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35730
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
dx.doi.org-10.1063-1.4898971.pdf732,17 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.