Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35829
Название: Determination of magnetron plasma parameters by optical emission spectroscopy and argon collisional-radiative model
Авторы: Evdokimov, Kirill Evgenievich
Konishchev, Maksim Evgenievich
Pichugin, Vladimir Fyodorovich
Sun Zhilei
Ключевые слова: плазма; оптическая спектроскопия; эмиссионная спектроскопия; аргон; optical emission spectroscopy; collisional-radiative model; magnetron plasma
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Determination of magnetron plasma parameters by optical emission spectroscopy and argon collisional-radiative model / K. E. Evdokimov [et al.] // Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2016. — [P. 193].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35829
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C117_p194.pdf228,29 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.