1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35831
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorTsapkov, Alexanderen
dc.contributor.authorMukhametkaliev, Timur Mukhamedrashidovichen
dc.contributor.authorEvdokimov, Kirill Evgenievichen
dc.contributor.authorSurmeneva (Ryabtseva), Maria Alexandrovnaen
dc.contributor.authorSurmenev, Roman Anatolievichen
dc.date.accessioned2016-12-30T02:54:07Z-
dc.date.available2016-12-30T02:54:07Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationThe influence of plasma parameters on the electron temperature and density / A. Tsapkov [et al.] // Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2016. — [P. 225].en
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/35831-
dc.language.isoenen
dc.relation.ispartofEnergy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia. — Tomsk, 2016.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectплазмаru
dc.subjectэлектронная температураru
dc.subjectплотностьru
dc.subjectплазменная обработкаru
dc.subjectоптическая спектроскопияru
dc.subjectэмиссионная спектроскопияru
dc.subjectplasma treatmentru
dc.subjectRF-magnetron plasmaru
dc.subjectoptical emission spectroscopyru
dc.titleThe influence of plasma parameters on the electron temperature and densityen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)ru
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)::Центр технологий (ЦТ)ru
local.description.firstpage225-
local.filepathconference_tpu-2016-C117_p226.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\19875-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\21255-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\20620-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\34243-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\31791-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\31894-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\31885-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameEnergy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)-
local.conference.date2016-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C117_p226.pdf226,79 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.