1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35867
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorOkhotnikov, Vitaly Vladimirovichen
dc.contributor.authorLinnik, Stepan Andreevichen
dc.contributor.authorGaydaychuk, Alexander Valerievichen
dc.date.accessioned2016-12-30T02:54:28Z-
dc.date.available2016-12-30T02:54:28Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationOkhotnikov V. V. Highly selective deposition of CVD diamond on si wafers by using a combined technique of photolithography and ion etching / V. V. Okhotnikov, S. A. Linnik, A. V. Gaydaychuk // Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2016. — [P. 351].en
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/35867-
dc.language.isoenen
dc.relation.ispartofEnergy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia. — Tomsk, 2016.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectосаждениеru
dc.subjectалмазыru
dc.subjectфотолитографияru
dc.subjectионное травлениеru
dc.subjectCVD diamond catingsru
dc.subjectglow discharge plasmaru
dc.subjectselective depositionru
dc.subjectstructureru
dc.titleHighly selective deposition of CVD diamond on si wafers by using a combined technique of photolithography and ion etchingen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт физики высоких технологий (ИФВТ)::Лаборатория № 1ru
local.description.firstpage351-
local.filepathconference_tpu-2016-C117_p352.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\19990-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\19035-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\36453-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\32877-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\32876-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameEnergy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)-
local.conference.date2016-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C117_p352.pdf226,89 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.