Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4546Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Горюнов, Алексей Германович | ru |
| dc.contributor.author | Курочкин, Владимир Александрович | ru |
| dc.contributor.author | Чучалин, Иван Петрович | ru |
| dc.contributor.author | Москалев, Владилен Александрович | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-11-20T03:05:54Z | - |
| dc.date.available | 2015-11-20T03:05:54Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током / А. Г. Горюнов [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2012. — Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика. — [С. 228-233]. | ru |
| dc.identifier.issn | 1684-8519 | - |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4546 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
| dc.relation.ispartof | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. 2012. Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика | - |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.source | Известия Томского политехнического университета | - |
| dc.subject | Siemens-реакторы | - |
| dc.subject | поликристаллический кремний | - |
| dc.subject | математическое моделирование | - |
| dc.subject | источники | - |
| dc.subject | переменный ток | - |
| dc.subject | системы автоматического управления | - |
| dc.title | Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током | ru |
| dc.type | Article | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.description.firstpage | 228 | - |
| local.description.lastpage | 233 | - |
| local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2012/v321/i5/47.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\254576 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\25726 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\30347 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\11823 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\12401 | - |
| local.issue | 5 | - |
| local.localtype | Статья | ru |
| local.volume | 321 | - |
| Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2012-321-5-47.pdf | 316,13 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.