Методы синтеза и свойства структурированных пленок и слоев на основе оксида цинка

Abstract

В последнее время сильно возрос интерес к оксиду цинка из-за его особых электрофизических пьезоэлектрических свойств. Благодаря этим свойствам оксид цинка является одним из самых актуальных материалов. Пленки на основе ZnO можно использовать в качестве нанесения токопроводящих прозрачных контактов, которые необходимых при производстве оптоэлектронных устройств. А также пленки, обладающие высоким сопротивлением можно переменить в качестве: резисторов, газовых пьезопреобразователей и сенсоров. Как правило, при получении пленок ZnO применяется, вакуумные, а также высокотемпературные технологии. В данной работе за основу были взяты две технологи: гидротермальный синтез, в котором пленки были выращены в условиях золь-гель технологии и магнетронное напыление оксида цинка в вакууме.

Recently, interest in zinc oxide has increased greatly due to its special electrophysical piezoelectric properties. Due to these properties, zinc oxide is one of the most relevant materials. ZnO-based films can be used to apply current-conducting transparent contacts, which are necessary for the production of optoelectronic devices. And also films with high resistance can be changed as: resistors, gas piezoelectric transducers and sensors. As a rule, in the production of ZnO films, vacuum as well as high temperature. In this work, two technologists were taken as a basis: hydrothermal synthesis, in which the films were grown under the conditions of sol-gel technology and magnetron sputtering of zinc oxide in a vacuum.