Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/50947Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | Соловьёв, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Гренадёров, А. С. | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-10-03T07:22:19Z | - |
| dc.date.available | 2018-10-03T07:22:19Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Гренадёров А. С. О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок / А. С. Гренадёров ; науч. рук. А. А. Соловьёв // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2018 г. : в 7 т. — Томск : Издательский Дом Томского государственного университета, 2018. — Т. 1 : Физика. — [С. 102-104]. | ru |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/50947 | - |
| dc.description.abstract | The a-C:H:SiOx films was deposited on glass substrates by plasma-assisted chemical vapor deposition combined with pulsed bipolar substrate bias from mixtures of argon and polyphenylmethylsiloxane vapor. Optical properties of a-C:H:SiOx films were investigated and studied using the transmission spectrum T(lambda) in visible range 300-800 nm. It is shown that integrat ed transparency of a-C:H:SiOx films in visible range from 380-780 nm is 70-89%, band gap is 2,3-2,6 eV, band tail width or Urbach energy is 547-718 meV depend on deposition conditions. | en |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Издательский Дом Томского государственного университета | ru |
| dc.relation.ispartof | Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2018 г. Т. 1 : Физика. — Томск, 2018. | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.subject | осаждение | ru |
| dc.subject | механические свойства | ru |
| dc.subject | оптические свойства | ru |
| dc.subject | кремний-углеродные пленки | ru |
| dc.subject | давление | ru |
| dc.subject | аргон | ru |
| dc.title | О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок | ru |
| dc.title.alternative | About influence of deposition conditions on mechanical and optical properties of silicon-carbon film | en |
| dc.type | Conference Paper | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.description.firstpage | 102 | - |
| local.description.lastpage | 104 | - |
| local.filepath | conference_tpu-2018-C21_V1_p102-104.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\27177 | - |
| local.localtype | Доклад | ru |
| local.volume | 1 | - |
| local.conference.name | Перспективы развития фундаментальных наук | - |
| local.conference.date | 2018 | - |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2018-C21_V1_p102-104.pdf | 321,37 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.