Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52755
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Кривобоков, Валерий Павлович | ru |
dc.contributor.author | Сиделёв, Дмитрий Владимирович | ru |
dc.date.accessioned | 2019-02-12T06:07:08Z | - |
dc.date.available | 2019-02-12T06:07:08Z | - |
dc.date.issued | 2018 | - |
dc.identifier.citation | Сиделёв Д. В. Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / Д. В. Сиделёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2018. — 138 л. : ил. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52755 | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.subject | Тонкопленочные покрытия | ru |
dc.subject | диссертации | ru |
dc.subject | осаждение | ru |
dc.subject | покрытия | ru |
dc.subject | хром | ru |
dc.subject | никель | ru |
dc.subject | магнетронные диоды | ru |
dc.subject | мишени | ru |
dc.subject | тонкие пленки | ru |
dc.subject | тонкопленочные материалы | ru |
dc.subject | магнетронное распыление | ru |
dc.subject | металлические мишени | ru |
dc.subject | кристаллические структуры | ru |
dc.subject | плазма | ru |
dc.subject | распылительные системы | ru |
dc.subject | магнетронные системы | ru |
dc.subject | коррозионная стойкость | ru |
dc.title | Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07 | ru |
dc.type | Thesis | - |
dc.type | Dissertation | - |
dc.type | info:eu-repo/semantics/authorVersion | - |
dcterms.audience | Researches | - |
local.filepath | dis00287.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\369607 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\34510 | - |
local.localtype | Диссертация | ru |
dc.subject.oksvnk | 01.04.07 | - |
local.thesis.level | Кандидат наук | ru |
local.thesis.degree | Кандидат технических наук | ru |
local.thesis.discipline | Физика конденсированного состояния | ru |
Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
dis00287.pdf | 3,98 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.