Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54474
Title: Сильноточный индукционный плазменный источник для обработки поверхностей материалов и изделий
Authors: Вересов, Александр Евгеньевич
metadata.dc.contributor.advisor: Ремнёв, Геннадий Ефимович
Keywords: ионная очистка; ионная полировка; плазма; сопло Лаваля; индукционный плазменный источник; ion cleaning; ion polished; plasma; Laval nozzle; induction plasma source
Issue Date: 2019
Citation: Вересов А. Е. Сильноточный индукционный плазменный источник для обработки поверхностей материалов и изделий : магистерская диссертация / А. Е. Вересов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Г. Е. Ремнёв. — Томск, 2019.
Abstract: Работа посвящена разработке источника плазмы с импульсным напуском газа. Такой источник способен обрабатывать поверхности больших площадей потоком плазмы с высокой интенсивностью и низкой энергией ионов.
The work is devoted to the development of a plasma source with a pulsed gas inlet. Such a source is capable of treating the surfaces of large areas with a stream of high-intensity plasma and low ion energy.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54474
Appears in Collections:Магистерские диссертации

Files in This Item:
File SizeFormat 
TPU724465.pdf2,47 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.