1. Электронный архив ТПУ
  2. Образование
  3. Студенческие работы
  4. Выпускные квалификационные работы (ВКР)
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55069
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorНестеренко, Тамара Георгиевнаru
dc.contributor.authorХмелёв, Владимир Андреевичru
dc.date.accessioned2019-06-14T09:02:09Z-
dc.date.available2019-06-14T09:02:09Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationХмелёв В. А. Разработка электродных структур микромеханических сенсоров : бакалаврская работа / В. А. Хмелёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа неразрушающего контроля и безопасности (ИШНКБ), Отделение электронной инженерии (ОЭИ) ; науч. рук. Т. Г. Нестеренко. — Томск, 2019.-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/55069-
dc.description.abstractВ ходе данной работы будут разработаны варианты электродных структур электростатических микромеханических систем, для которых различными методами будут рассчитаны емкости, проведено их сравнение и будут даны рекомендации по применению оптимальных методов расчета.ru
dc.description.abstractIn the course of this work, variants of the electrode structures of electrostatic micromechanical systems will be developed, for which capacitances will be calculated using various methods, compared, and recommendations on the use of optimal calculation methods will be given.en
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectМЭМС - микроэлектромеханическая системаru
dc.subjectэлектродные структурыru
dc.subjectгребенчатые структурыru
dc.subjectэлектрическая емкостьru
dc.subjectкраевые эффектыru
dc.subjectMEMSen
dc.subjectelectrode structuresen
dc.subjectcomb structuresen
dc.subjectelectric capacityen
dc.subjectedge effectsen
dc.titleРазработка электродных структур микромеханических сенсоровru
dc.typeStudents work-
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Инженерная школа неразрушающего контроля и безопасности (ИШНКБ)::Отделение электронной инженерии (ОЭИ)-
local.institut7976-
local.localtypeСтуденческая работа-
dc.subject.oksvnk12.03.01-
local.thesis.levelБакалаврru
local.thesis.disciplineПриборостроение-
local.local-vkr-id553643-
local.vkr-id35217-
local.stud-group1Б5В-
local.lichnost-id151562-
local.thesis.level-id1-
local.tutor-lichnost-id59628-
dc.subject.udc681.586.772'32-022.52-
Располагается в коллекциях:Выпускные квалификационные работы (ВКР)

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
TPU737838.pdf2,67 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.