Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.contributor.authorБельгебаева, Д. Е.ru
dc.date.accessioned2019-09-25T04:48:06Z-
dc.date.available2019-09-25T04:48:06Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationБельгебаева Д. Е. Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния / Д. Е. Бельгебаева ; науч. рук. Д. В. Сиделёв // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 64-66].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800-
dc.description.abstractSilicon films were obtained by magnetron sputtering of Si targets with Al and P dopants. There is shown higher deposition rates (up to 30%) for Si(P) coatings that is caused by higher sputtering yeild. These films are more transparent in compasrison with Si(Al) films in visible range.en
dc.language.isoruen
dc.publisherИзд-во ТПУru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. Т. 1 : Физика. — Томск, 2019.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectмишениru
dc.subjectмагнетронные диодыru
dc.subjectоптические свойстваru
dc.subjectпленкиru
dc.subjectкремнийru
dc.subjectоптические свойстваru
dc.titleВлияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремнияru
dc.title.alternativeInfluence of the type of target of the magnetron diode on the optical properties silicon filmen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage64-
local.description.lastpage66-
local.filepathconference_tpu-2019-C21_V1_p64-66.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\30376-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
local.conference.nameПерспективы развития фундаментальных наук-
local.conference.date2019-
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2019-C21_V1_p64-66.pdf277,1 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.