Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55873
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorПичугин, Владимир Федоровичru
dc.contributor.authorЧжилэй Суньru
dc.contributor.authorКонищев, Максим Евгеньевичru
dc.date.accessioned2019-09-25T04:48:14Z-
dc.date.available2019-09-25T04:48:14Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationЧжилэй Сунь. Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением / Чжилэй Сунь, М. Е. Конищев ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 388-390].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/55873-
dc.description.abstractIn this paper we present the results of investigation of optical properties of nitrogen doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering. The influence of reactive atmosphere and post annealing on refractive index, transmittance and band gap energy has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized by maximum of deposition rate and minimum of refractive index. N-induced band gap narrowing has been observed and the minimum band gap energy was found to be 2.87 eV for annealed TiON 1.5-1 film.en
dc.language.isoruen
dc.publisherИзд-во ТПУru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. Т. 1 : Физика. — Томск, 2019.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectоптические свойстваru
dc.subjectпленкиru
dc.subjectоксид титанаru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectоптические свойстваru
dc.subjectлегированиеru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectосаждениеru
dc.titleОптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылениемru
dc.title.alternativeOptical properties of nitrogen doped titanium oxide films, deposited using magnetron sputteringen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage388-
local.description.lastpage390-
local.filepathconference_tpu-2019-C21_V1_p388-390.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\30482-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\27837-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
local.conference.nameПерспективы развития фундаментальных наук-
local.conference.date2019-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2019-C21_V1_p388-390.pdf299,49 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.