Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56737
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЛомыгин, Антонru
dc.contributor.authorЛаптев, Роман Сергеевичru
dc.date.accessioned2019-11-12T05:50:52Z-
dc.date.available2019-11-12T05:50:52Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationЛомыгин А. Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок / А. Ломыгин, Р. С. Лаптев // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019) : сборник научных трудов Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 30 сентября - 04 октября 2019 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — [С. 55].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/56737-
dc.language.isoruen
dc.relation.ispartofФизико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019) : сборник научных трудов Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 30 сентября - 04 октября 2019 г. — Томск, 2019.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectрежимы работыru
dc.subjectрадиочастотные источникиru
dc.subjectспектрометрыru
dc.subjectтлеющие разрядыru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectэмиссионная спектроскопияru
dc.subjectоптическая спектроскопияru
dc.titleПодбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленокru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage55-
local.filepathconference_tpu-2019-C49_p55.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\31307-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\44438-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\29924-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameФизико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине-
local.conference.date2019-
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2019-C49_p55.pdf851,04 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.