Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57759
Название: Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Авторы: Bleykher, Galina Alekseevna
Yuryeva, Alena Victorovna
Shabunin, Artem Sergeevich
Sidelev, Dmitry Vladimirovich
Grudinin, Vladislav Alekseevich
Ключевые слова: магнетронное распыление; металлические мишени; магнетроны; осаждение; покрытия; самораспыление; магнетронные распылительные системы
Дата публикации: 2019
Библиографическое описание: Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target / G. A. Bleykher [et al.] // Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019) : 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2019. — [С. 277].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57759
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2019-C108_p277.pdf337,71 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.