1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/62569
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorПичугин, Владимир Федоровичen
dc.contributor.authorСунь Чжилэйru
dc.contributor.authorКонищевru
dc.contributor.authorМаксим Евгеньевичen
dc.date.accessioned2020-09-23T06:25:09Z-
dc.date.available2020-09-23T06:25:09Z-
dc.identifier.citationСунь Чжилэй Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением / Сунь Чжилэй, М. Е. Конищев ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2020 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТУСУР, 2020. — Т. 1 : Физика. — [С. 236-238].en
dc.identifier.issn2020-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/62569-
dc.description.abstractIn the present paper we investigated nitrogen-doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering with different regimes. The influence of reactive atmosphere and substrate bias on film deposition rate, refractive index, phase structure and topography has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized with maximum deposition rate. Addition of argon intro reactive atmosphere and substrate bias has led to the amorphous structure and flattened surface of TiO[x]N[y] films.de
dc.format.mimetypeResearches-
dc.language.isoConference Paperen
dc.language.isoinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dc.language.isoinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.publisherИзд-во ТУСУРen
dc.relationhttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2020 г. Т. 1 : Физика. — Томск, 2020en
dc.rights.uriinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rights.uriAttribution-NonCommercial 4.0 International-
dc.subjectоксид титанаen
dc.subjectмагнетронное распылениеen
dc.subjectосаждениеen
dc.subjectфазовый составen
dc.subjectтонкие пленкиen
dc.subjectпостоянный токen
dc.titleИсследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылениемen
dc.title.alternativeInvestigation of nitrogen-doped titanium oxide films deposited using magnetron sputteringde
local.departmentRU\TPU\conf\33244ru
local.description.firstpageДоклад-
local.description.lastpage236-
local.filepath238-
local.identifier.bibrecru-
local.identifier.colkeyRU\TPU\pers\46146-
local.identifier.colkeyRU\TPU\pers\27837-
local.identifier.perskeyconference_tpu-2020-C21_V1_p236-238.pdf-
local.issue1-
local.volume2020-
local.thesis.levelapplication/pdfru
local.conference.nameПерспективы развития фундаментальных наукen
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2020-C21_V1_p236-238.pdf557,69 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.