Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6262| Название: | Формирование ионных потоков из плазмы короткоимпульсными потенциалами смещения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |
| Авторы: | Рябчиков, Игорь Александрович |
| Научный руководитель: | Усов, Юрий Петрович |
| Ключевые слова: | физика; плазма; ионные потоки; ионная имплантация; оборудование; методы; проводящие мишени; диэлектрические мишени; короткие потенциалы смещения; биполярные импульсы смещения; авторефераты диссертаций |
| Дата публикации: | 2006 |
| Библиографическое описание: | Рябчиков И. А. Формирование ионных потоков из плазмы короткоимпульсными потенциалами смещения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / И. А. Рябчиков ; Томский политехнический университет; науч. рук. Ю. П. Усов. — Томск, 2006. — 21 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6262 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2006-17.pdf | 498,96 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.