Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorПичугин, Владимир Федоровичru
dc.contributor.authorСунь Чжилэйru
dc.date.accessioned2020-11-09T03:15:04Z-
dc.date.available2020-11-09T03:15:04Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationСунь Чжилэй. Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 / Сунь Чжилэй ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. Ф. Пичугин. — Томск, 2020.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectПленки тонкие — Получениеru
dc.subjectПленки тонкие — Структураru
dc.subjectдиссертацииru
dc.subjectзакономерностиru
dc.subjectформированиеru
dc.subjectоксинитриды титанаru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectструктурные особенностиru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectоксиды титанаru
dc.subjectбиомедицинское применениеru
dc.subjectосаждениеru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectкристаллические структурыru
dc.subjectпреломлениеru
dc.subjectфазовый составru
dc.subjectшероховатостиru
dc.subjectотжигru
dc.subjectмолекулярный составru
dc.subjectсмачиваниеru
dc.subjectспектроскопияru
dc.subjectтермическая обработкаru
dc.subjectфотокаталитическая активностьru
dc.titleЗакономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07ru
dc.typeThesisen
dc.typeDissertationen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersionen
dcterms.audienceResearchesen
local.filepathdis00392.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\377075-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\46146-
local.localtypeДиссертацияru
dc.subject.oksvnk01.04.07-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат физико-математических наукru
local.thesis.disciplineФизика конденсированного состоянияru
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File SizeFormat 
dis00392.pdf7,68 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.