1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorБлейхер, Галина Алексеевнаru
dc.contributor.authorКривобоков, Валерий Павловичru
dc.contributor.authorЮрьева, Алена Викторовнаru
dc.date.accessioned2021-03-04T10:16:35Z-
dc.date.available2021-03-04T10:16:35Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationБлейхер Г. А. Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий / Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева // Современные технологии, экономика и образование : сборник материалов II Всероссийской научно-методической конференции, г. Томск, 2-4 сентября 2020 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2020. — [С. 51-52].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631-
dc.description.abstractThe mechanisms leading to a noticeable increase in the rate of the surface erosion of liquid metal targets sputtered in the plasma of magnetron sputtering systems are studied. Experimental studies of the growth rate of metal coatings during the operation of magnetrons with liquid-phase targets have been carried out. The calculated results and experimental data are in good agreement, which indicates the correctness of the formulated physical concepts and the obtained regularities.en
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofСовременные технологии, экономика и образование : сборник материалов II Всероссийской научно-методической конференции, г. Томск, 2-4 сентября 2020 г.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectмагнетронные распылительные системыru
dc.subjectвысокоскоростное осаждениеru
dc.subjectфункциональные покрытияru
dc.subjectэрозияru
dc.subjectжидкометаллические мишениru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectметаллические покрытияru
dc.subjectмагнетроныru
dc.titleАнализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытийru
dc.title.alternativeAnalysis of the capabilities of magnetron sputtering systems for high-rate deposition of functional coatingsen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage51-
local.description.lastpage52-
local.filepathconference_tpu-2020-C128_p51-52.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\34320-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\28948-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\21971-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\30232-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameСовременные технологии, экономика и образованиеru
local.conference.date2020-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2020-C128_p51-52.pdf181,89 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.