Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6544
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorРемнев, Геннадий Ефимовичru
dc.contributor.authorСалтымаков, Максим Сергеевичru
dc.date.accessioned2015-12-02T04:07:38Z-
dc.date.available2015-12-02T04:07:38Z-
dc.date.issued2010-
dc.identifier.citationСалтымаков М. С. Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / М. С. Салтымаков ; Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Г. Е. Ремнев. — Томск, 2010. — 18 с. : ил.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/6544-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectПолупроводниковые пленки — Физико-химические свойстваru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectосаждениеru
dc.subjectионное распылениеru
dc.subjectсильноточные импульсные ускорителиru
dc.subjectионные диодыru
dc.subjectмишеньru
dc.subjectвоздействиеru
dc.subjectповерхностный слойru
dc.subjectхимический составru
dc.subjectизменениеru
dc.subjectсвойстваru
dc.subjectструктураru
dc.subjectавторефераты диссертацийru
dc.titleИмпульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07ru
dc.typeThesisen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersionen
dcterms.audienceResearchesen
local.filepathhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/10.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\195692-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\376-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\30452-
local.localtypeАвтореферат диссертацииru
dc.subject.oksvnk01.04.07-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат технических наукru
local.thesis.disciplineФизика конденсированного состоянияru
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
thesis_tpu-2010-10.pdf915,93 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.