Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6544
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Ремнев, Геннадий Ефимович | ru |
dc.contributor.author | Салтымаков, Максим Сергеевич | ru |
dc.date.accessioned | 2015-12-02T04:07:38Z | - |
dc.date.available | 2015-12-02T04:07:38Z | - |
dc.date.issued | 2010 | - |
dc.identifier.citation | Салтымаков М. С. Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / М. С. Салтымаков ; Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Г. Е. Ремнев. — Томск, 2010. — 18 с. : ил. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6544 | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.subject | Полупроводниковые пленки — Физико-химические свойства | ru |
dc.subject | тонкие пленки | ru |
dc.subject | осаждение | ru |
dc.subject | ионное распыление | ru |
dc.subject | сильноточные импульсные ускорители | ru |
dc.subject | ионные диоды | ru |
dc.subject | мишень | ru |
dc.subject | воздействие | ru |
dc.subject | поверхностный слой | ru |
dc.subject | химический состав | ru |
dc.subject | изменение | ru |
dc.subject | свойства | ru |
dc.subject | структура | ru |
dc.subject | авторефераты диссертаций | ru |
dc.title | Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07 | ru |
dc.type | Thesis | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/authorVersion | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/10.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\195692 | - |
local.identifier.colkey | RU\TPU\col\376 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\30452 | - |
local.localtype | Автореферат диссертации | ru |
dc.subject.oksvnk | 01.04.07 | - |
local.thesis.level | Кандидат наук | ru |
local.thesis.degree | Кандидат технических наук | ru |
local.thesis.discipline | Физика конденсированного состояния | ru |
Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
thesis_tpu-2010-10.pdf | 915,93 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.