Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/858
Название: Свойства магнетронного разряда на постоянном токе
Авторы: Жуков, В. В.
Кривобоков, В. П.
Пацевич, В. В.
Янин, С. Н.
Ключевые слова: свойства; магнетронный разряд; постоянный ток; механизмы; распыления; мишени; зондовые измерения; электрический потенциал; магнетронные диоды; катоды; скорость; ионизация; рабочий газ; концентрация; плазма; координатное распределение; ионные компоненты; электронные компоненты; разрядный ток; энергетическое распределение; ускоренные ионы; аргон; поверхность; процессы; плазма; приповерхностные слои
Дата публикации: 2005
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Свойства магнетронного разряда на постоянном токе / В. В. Жуков [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2005. — Т. 308, № 6. — [С. 69-74].
Аннотация: Выполнены зондовые измерения пространственного распределения электрического потенциала в магнетронном диоде на постоянном токе вблизи катода. Вычислены скорость ионизации рабочего газа, концентрация плазмы в зависимости от тока разряда, координатное распределение ионной и электронной компонент разрядного тока, энергетическое распределение ускоренных ионов аргона на поверхности мишени. Показано, что основные процессы в плазме, приводящие к распылению, протекают в приповерхностном слое мишени толщиной несколько мм.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/858
Располагается в коллекциях:Известия ТПУ

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
bulletin_tpu-2005-308-6-14.pdf476,59 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.