Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/990
Название: Свойства магнетронного разряда на постоянном токе
Авторы: Жуков, В. В.
Кривобоков, Валерий Павлович
Пацевич, Василий Викторович
Янин, С. Н.
Ключевые слова: свойства; магнетронный разряд; постоянный ток; перенос заряда; зондовые измерения; электрический потенциал; прикатодная область; плазма; структуры; низкое напряжение; формирование; самораспыление; двумерные модели; растекание; электронный ток; конфигурации; электроды; распылительные системы; аноды; магнетроны; холловский ток; разрядные зоны; магнитные поля; плотность
Дата публикации: 2006
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Свойства магнетронного разряда на постоянном токе / В. В. Жуков [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2006. — Т. 309, № 1. — [С. 56-59].
Аннотация: На основании зондовых измерений электрического потенциала в прикатодной области плазмы изучена структура магнетронного разряда на постоянном токе. Обнаружено, что при достаточно низком напряжении (?250 В) разряд по своему строению напоминает тлеющий, а при более высоком важную роль в его формировании начинает играть процесс самораспыления мишени, являющийся неотъемлемым признаком магнетронного разряда. Построена двумерная модель растекания электронного тока из зоны разряда при заданных конфигурациях электродов распылительной системы. Показано, что положение анода относительно магнетрона сильно влияет на распределение холловского тока в разрядной зоне, а магнитное поле способствует разделению разряда на несколько зон с различными плотностями тока.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/990
Располагается в коллекциях:Известия ТПУ

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
bulletin_tpu-2006-309-1-10.pdf376,65 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.