Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/990
Title: Свойства магнетронного разряда на постоянном токе
Authors: Жуков, В. В.
Кривобоков, Валерий Павлович
Пацевич, Василий Викторович
Янин, С. Н.
Keywords: свойства; магнетронный разряд; постоянный ток; перенос заряда; зондовые измерения; электрический потенциал; прикатодная область; плазма; структуры; низкое напряжение; формирование; самораспыление; двумерные модели; растекание; электронный ток; конфигурации; электроды; распылительные системы; аноды; магнетроны; холловский ток; разрядные зоны; магнитные поля; плотность
Issue Date: 2006
Publisher: Томский политехнический университет
Citation: Свойства магнетронного разряда на постоянном токе / В. В. Жуков [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2006. — Т. 309, № 1. — [С. 56-59].
Abstract: На основании зондовых измерений электрического потенциала в прикатодной области плазмы изучена структура магнетронного разряда на постоянном токе. Обнаружено, что при достаточно низком напряжении (?250 В) разряд по своему строению напоминает тлеющий, а при более высоком важную роль в его формировании начинает играть процесс самораспыления мишени, являющийся неотъемлемым признаком магнетронного разряда. Построена двумерная модель растекания электронного тока из зоны разряда при заданных конфигурациях электродов распылительной системы. Показано, что положение анода относительно магнетрона сильно влияет на распределение холловского тока в разрядной зоне, а магнитное поле способствует разделению разряда на несколько зон с различными плотностями тока.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/990
Appears in Collections:Известия ТПУ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
bulletin_tpu-2006-309-1-10.pdf376,65 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.