Управление качеством полупроводникового производства методами решения задач классификации

Abstract

В работе обсуждается проблема моделирования процессов в электронной промышленности как целостной системы. Показана возможность использования статистических методов в улучшении качества полупроводникового производства. Приводятся результаты математического моделирования реальных данных с предприятия полупроводниковой индустрии Томска. В качестве независимой переменной выступает процент выхода годных изделий, остальные переменные представляют собой технологические параметры и результаты промежуточного контроля на всем протяжении технологического маршрута. Дается алгоритм выявления групп переменных, значимо влияющих на выход годных изделий для построения прогноза. Результаты имеют практическое значение для решения проблемы анализа больших объемов данных в полупроводниковом производстве.

The problem of modeling of processes in electronic industry as complete system is discussed in the work. The simple methodology of the statistical analysis application for modeling of processes in semiconductor manufacturing is given. Outcomes of mathematical modeling of experimental data from the enterprise of the semiconductor industry in Tomsk are resulted. The percent of semiconductor chip appropriate for market is independent variable. Other variables represent technological parameters and results of the intermediate measurement on all technological process. The algorithm for revealing of the variable groups significantly impact to yield semiconductor chips for the forecasting is given. Received results have a practical value for manufacture of semiconductor devices.