Просмотр коллекции по группе - По тематике ion assisted
Отображение результатов 1 до 1 из 1
Дата публикации | Название | Авторы |
---|---|---|
2021 | Осаждение нитрида кремния с помощью магнетронного распыления с ионным-ассистированием | Федорова, Алена Игоревна |