Определение оптимальных условий натекания и анализ на масс-спектрометре МСХ-3А газообразных продуктов разложения сложных органических соединений в плазме

Abstract

В данной работе исследованы режимы натекания в ионный источник газообразных продуктов разрушения твердого полимера винилиденфторида в плазме в. ч. факельного разряда и проанализирован их состав на времяпролетном масс-спектрометре МСХ-ЗА. С этой целью создана экспериментальная установка, которая позволяет вести исследования при температурах порядка 3500° К и давлений газа 30?75 торр. В результате исследований установлено, что состав образующихся газообразных продуктов разложения полимера зависит от природы плазмообразующего газа (гелий или воздух) и представляет собой сложную смесь газов.