Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/13971
Title: | Электронно-лучевой контроль качества токопроводящего слоя резисторов |
Authors: | Горбунов, Владимир Иванович Свирякин, Д. И. Филишов, Н. Я. Колупаев, А. Н. |
Issue Date: | 1976 |
Publisher: | Томский политехнический университет |
Citation: | Электронно-лучевой контроль качества токопроводящего слоя резисторов / В. И. Горбунов [и др.] // Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]. — 1976. — Т. 296 : Неразрушающие методы контроля. — [С. 137-140]. |
Abstract: | Рассматривается возможность применения методов сканирующей растровой электронной интроскопии для контроля тонкопленочных покрытий и поверхностных слоев радиокомпонентов и радиосхем. Описана конструкция и принцип работы экспериментальной электронно-лучевой установки для проверки качества токопроводящих покрытий резисторов. Приведены фотографии изображений контролируемых резисторов, полученных с экрана видеоконтрольного устройства ПТУ-26. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/13971 |
Appears in Collections: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
bulletin_tpu-1976-v296-30_bw.pdf | Black-and-white version of the preview | 347,45 kB | Adobe PDF | View/Open |
bulletin_tpu-1976-v296-30_full.pdf | Color version | 6,32 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.