Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Рябчиков, Александр Ильич | ru |
dc.contributor.author | Степанов, Игорь Борисович | ru |
dc.contributor.author | Сивин, Денис Олегович | ru |
dc.contributor.author | Додорин, Константин Юрьевич | ru |
dc.contributor.author | Шулепов, Иван Анисимович | ru |
dc.date.accessioned | 2016-03-17T11:28:43Z | - |
dc.date.available | 2016-03-17T11:28:43Z | - |
dc.date.issued | 2011 | - |
dc.identifier.citation | Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения / А. И. Рябчиков [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2011. — № 1 (1). — [С. 72-76]. | ru |
dc.identifier.issn | 2226-0064 | - |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894 | - |
dc.description.abstract | Представлены закономерности формирования плазмы азота, аргона в полом катоде с объемом до 0,2…0,5 м3 с помощью короткоимпульсного 1…10 мкс высокочастотного 105 Гц напряжения до 3 кВ. Установлено, что, несмотря на импульсный характер напряжения, газовый разряд стабильно горит при давлении 0,1 Па и выше, величина тока разряда и концентрация плазмы возрастают при увеличении длительности импульса напряжения, амплитуды напряжения, общий ток разряда достигает 10 А, обеспечивая плотность ионного тока насыщения на изделия, помещенные в плазму до 0,5 мА/см2. Показана возможность осаждения сверхтвердого (45…50 ГПа) покрытия на основе нитрида титана внутри полого катода. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
dc.relation.ispartof | Вестник науки Сибири. 2011. № 1 (1) | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.source | Вестник науки Сибири | ru |
dc.subject | физика | ru |
dc.subject | газоразрядная плазма | ru |
dc.subject | тлеющие разряды | ru |
dc.subject | формирование | ru |
dc.subject | полые катоды | ru |
dc.subject | высокочастотные напряжения | ru |
dc.subject | импульсные напряжения | ru |
dc.subject | использование | ru |
dc.title | Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения | ru |
dc.type | Article | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/article | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.description.firstpage | 72 | - |
local.description.lastpage | 76 | - |
local.filepath | http://sjs.tpu.ru/journal/article/viewPDFInterstitial/149/94 | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\prd\144143 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\22006 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\26466 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\26465 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\29639 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\28219 | - |
local.issue | 1 | - |
local.localtype | Статья | ru |
Располагается в коллекциях: | Векторы благополучия: экономика и социум |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
94.pdf | 591,25 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.