Термические превращения в наноразмерных слоях систем "алюминий-оксид алюминия"

Abstract

Пленки алюминия толщиной более 2 нм проявляют, а менее 2 нм не проявляют характерные для алюминия полосы поглощения и отражения в диапазоне ?=190...1100 нм. Спектрофотометрическим, гравиметрическим и микроскопическим методами установлено, что в результате термической обработки в интервале температур 373...600 К в течение 1...140 мин. в атмосферных условиях толщина, масса и спектры поглощения и отражения пленок алюминия (d=2...200 нм) претерпевают значительные изменения. Показано, что кинетические кривые степени превращения, изменения толщины и массы образцов удовлетворительно описываются в рамках логарифмического закона. Установлено, что изменения спектров поглощения, толщины и массы пленок алюминия связаны с формированием на их поверхности оксида алюминия.