Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20530| Название: | Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана |
| Авторы: | Сунь Чжилэй Конищев, Максим Евгеньевич Пустовалова, Алла Александровна |
| Научный руководитель: | Пичугин, Владимир Федорович |
| Ключевые слова: | парциальное давление; спектральный состав; распыление; магнетронный разряд; плазма; мишени; титан |
| Дата публикации: | 2014 |
| Библиографическое описание: | Сунь Чжилэй. Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана / Сунь Чжилэй, М. Е. Конищев, А. А. Пустовалова ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 262-264]. |
| Аннотация: | This paper presents the study of the spectral composition of the plasma reactive magnetron discharge and the effect of the concentration of the working gas on the sputtering process. Control of the thin film synthesis was carried out using plasma emission spectrometer AvaSpec 3648. Line identification of optical spectra was realized using NIST database. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20530 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2014-C21-083.pdf | 140,86 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.