Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23686Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | Капранов, Борис Иванович | ru |
| dc.contributor.author | Ловицкий, А. А. | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-05-16T17:50:30Z | - |
| dc.date.available | 2016-05-16T17:50:30Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.citation | Ловицкий А. А. Разработка метода толщинометрии кремниевого покрытия / А. А. Ловицкий ; науч. рук. Б. И. Капранов // Неразрушающий контроль: электронное приборостроение, технологии, безопасность : сборник трудов V Всероссийской научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых учёных, Томск, 25-29 мая 2015 г. : в 2 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — Т. 1. — [91-94]. | ru |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23686 | - |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Изд-во ТПУ | ru |
| dc.relation.ispartof | Неразрушающий контроль: электронное приборостроение, технологии, безопасность : сборник трудов V Всероссийской научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых учёных, Томск, 25-29 мая 2015 г. Т. 1. — Томск, 2015. | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.subject | толщинометрия | ru |
| dc.subject | карбидокремниевые покрытия | ru |
| dc.subject | толщина | ru |
| dc.subject | покрытия | ru |
| dc.title | Разработка метода толщинометрии кремниевого покрытия | ru |
| dc.type | Conference Paper | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт неразрушающего контроля (ИНК)::Лаборатория № 40 (Технической томографии и интроскопии) (Лаборатория № 40) | ru |
| local.description.firstpage | 91 | - |
| local.description.lastpage | 94 | - |
| local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C36/V1/025.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\12380 | - |
| local.identifier.colkey | RU\TPU\col\20619 | - |
| local.localtype | Доклад | ru |
| local.volume | 1 | - |
| local.conference.name | Неразрушающий контроль: электронное приборостроение, технологии, безопасность | - |
| local.conference.date | 2015 | - |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C36-V1-025.pdf | 482,33 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.