Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25997
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Пичугин, Владимир Федорович | ru |
dc.contributor.author | Иванова, Нина Михайловна | ru |
dc.contributor.author | Пустовалова, Алла Александровна | ru |
dc.date.accessioned | 2016-06-22T16:30:44Z | - |
dc.date.available | 2016-06-22T16:30:44Z | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier.citation | Иванова Н. М. Влияние напряжения смещения на морфологию поверхности и структуру азотсодержащих тонких пленок диоксида титана / Н. М. Иванова, А. А. Пустовалова ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — Т. 1 : Физика. — [С. 112-114]. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25997 | - |
dc.description.abstract | Nitrogen-TiO2 thin films have been deposited by the reactive magnetron sputtering by using differentO2/N2 gas ratios and negative bias voltage. This work reports on the study results of the changes in the surfacemorphology, structure and phase composition of the thin films depending on deposition modes. SEM analysisshowed the reduction of grains with nitrogen introduction. XRD data demonstrated phase transition in the filmsthrough the nitrogen incorporation and bias voltage applying. | en |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | Изд-во ТПУ | ru |
dc.relation.ispartof | Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. . Т. 1 : Физика. — Томск, 2016. | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.subject | диоксид титана | ru |
dc.subject | физико-химические свойства | ru |
dc.subject | электрические свойства | ru |
dc.subject | магнетронные распылительные системы | ru |
dc.subject | нержавеющие стали | ru |
dc.title | Влияние напряжения смещения на морфологию поверхности и структуру азотсодержащих тонких пленок диоксида титана | ru |
dc.title.alternative | Influence of bias voltage on the surface morphology and structure of nitrogen-containing titanium dioxide thin films | en |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) | ru |
local.description.firstpage | 112 | - |
local.description.lastpage | 114 | - |
local.filepath | conference_tpu-2016-C21_V1_p112-114.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\16478 | - |
local.identifier.colkey | RU\TPU\col\21255 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\34113 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\31045 | - |
local.localtype | Доклад | ru |
local.volume | 1 | - |
local.conference.name | Перспективы развития фундаментальных наук | - |
local.conference.date | 2016 | - |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2016-C21_V1_p112-114.pdf | 1,69 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.