Развитие метода высокочастотной короткоимпульсной плазменно-иммерсионной ионной имплантации и осаждения покрытий для реализации гибридных технологий ионной и плазменной обработки материалов

Abstract

Выпускная квалификационная работа содержит 110 страниц, 52 рисунка, 27 таблиц, 24 источника, 2 приложения. Объектом исследования является метод высокочастотной короткоимпульсной плазменно-иммерсионной ионной имплантации и осаждения покрытий. Цель работы заключается в разработке методики применения высокочастотной короткоимпульсной плазменно-иммерсионной ионной имплантации и осаждения покрытий для модификации свойств материалов. Практическая польза и новизна заключаются в улучшении функциональных свойств, повышении энергетической эффективности и экологической безопасности при применении плазменной технологии в области модификации материалов.

The method of plasma immersion ion implantation was described in this paper. To improve the efficiency of the method was proposed a method of high-frequency short-pulse plasma-immersion implantation. Brief description of new method was considered in this material.