Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/29904
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Юрьева, Алена Викторовна | ru |
dc.contributor.author | Кушебина, Айгерим Казбековна | ru |
dc.date.accessioned | 2016-06-25T13:41:19Z | - |
dc.date.available | 2016-06-25T13:41:19Z | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier.citation | Кушебина А. К. Исследование алюминиевых покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью : дипломный проект / А. К. Кушебина ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра общей физики (ОФ) ; науч. рук. А. В. Юрьева. — Томск, 2016. | - |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/29904 | - |
dc.description.abstract | В данной работе проводилось исследование алюминиевых покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы (МРС) с жидкофазной мишенью. Цель работы – оценка влияния режимов работы и материалов тиглей МРС с жидкофазной мишенью на свойства тонкопленочных алюминиевых покрытий. В процессе исследования проводилось: осаждение алюминиевых пленок с помощью МРС с жидкой мишенью; измерение температур мишени и тиглей; определение влияния режима на скорость осаждения; определение зависимости скорости осаждения от мощности разряда; измерение адгезионной прочности и шероховатости поверхности; проведение рентгеноструктурного анализа; измерение коэффициента отражения. | ru |
dc.description.abstract | In this work, a study was conducted of aluminum coatings obtained by magnetron sputtering system with a liquid-phase target. Purpose - assessment of the impact of operating modes and materials of crucibles MSS with liquid phase target on the properties of thin-film coatings of aluminum. The study was carried out: deposition of aluminum films by MSS with the liquid target; measurement of the target temperature and the crucibles; determine the impact of the regime on the deposition rate; depending on the definition of the rate of deposition of discharge capacity; measurement of the adhesive strength and roughness; carrying out X-ray analysis; measuring the reflection coefficient. | en |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.subject | свойства пленок | ru |
dc.subject | тонкопленочные покрытия | ru |
dc.subject | магнетронная распылительная система | ru |
dc.subject | алюминиевые покрытия | ru |
dc.subject | жидкофазная мишень | ru |
dc.subject | film properties | en |
dc.subject | aluminum coating | en |
dc.subject | thin-film coating | en |
dc.subject | magnetron sputtering system | en |
dc.subject | liquid-phase target | en |
dc.title | Исследование алюминиевых покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью | ru |
dc.type | Students work | - |
local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра общей физики (ОФ) | - |
local.institut | 6270 | - |
local.localtype | Студенческая работа | - |
dc.subject.oksvnk | 03.03.02 | - |
local.thesis.level | Бакалавр | ru |
local.thesis.discipline | Физика | - |
local.local-vkr-id | 45793 | - |
local.vkr-id | 6726 | - |
local.stud-group | 0Б21 | - |
local.lichnost-id | 131525 | - |
local.thesis.level-id | 1 | - |
local.tutor-lichnost-id | 123147 | - |
dc.subject.udc | 533.9.07 | - |
Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы (ВКР) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
TPU208526.pdf | 1,53 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.